DRM-beskyttet

Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology

Toshio Ito
, Ueno Takumi
og Saburo Nonogaki

Bog E-bog

Format
E-bog, PDF
Engelsk
336 sider

E-bogen er DRM-beskyttet og kræver et særligt læseprogram

Normalpris: kr. 3.494,95

Medlemspris: kr. 3.429,95 For at købe bogen til medlemspris skal du have et medlemskab med Shopping-fordele. Du kan prøve medlemskabet gratis i 7 dage. Medlemskabet fornyes automatisk og kan altid opsiges.

Leveringstid: Straks (sendes på e-mail)
Split betalingen op med

Beskrivelse

"Explores the science and technology of lithographic processes and resist materials and summarizes the most recent innovations in semiconductor manufacturing. Considers future trends in lithography and resist material technology. Reviews the interaction of light, electron beams, and X-rays with resist materials."

Læs hele beskrivelsen

Detaljer

SprogEngelsk
Sidetal336
Udgivelsesdato08-10-2018
ISBN139781482273762
Forlag Crc Press
FormatPDF

Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology

Findes i disse kategorier...

Se andre, der handler om...