Vysokoskorostnoe torcewoe frezerowanie monokristallicheskoj kremniewoj plastiny

Obrabotka monokristallicheskogo kremniq - slozhnoe i dorogostoqschee delo iz-za wysokoj twerdosti i prisuschej emu hrupkosti. Osnownoj problemoj pri tradicionnoj obrabotke hrupkih materialow, takih kak kremnij, qwlqetsq obrazowanie treschin i podpowerhnostnyh powrezhdenij. V ätoj knige opisywaetsq process obrabotki kremniq w plastichnom rezhime s ispol'zowaniem wysokoskorostnogo torcewogo frezerowaniq s ispol'zowaniem instrumentow s almaznym pokrytiem. Ustanowleno, chto razrabotannyj metod obespechiwaet celostnost' obrabotannoj powerhnosti i horoshee kachestwo powerhnosti. V knige obsuzhdaetsq wliqnie parametrow rezaniq, takih kak skorost' rezaniq, podacha i glubina rezaniq, na obrabotku w plasticheskom rezhime. Trehurownewyj polnyj faktornyj plan äxperimentow s ispol'zowaniem metodologii powerhnosti otklika (RSM) byl ispol'zowan dlq razrabotki regressionnoj modeli srednej sherohowatosti powerhnosti. Razrabotannaq model' byla protestirowana s pomosch'ü dispersionnogo analiza (ANOVA) s doweritel'noj weroqtnost'ü 95%. Nailuchshaq dostignutaq srednqq sherohowatost' powerhnosti sostawila 0,2 mkm, chto moglo umen'shit' neobhodimost' w dal'nejshih operaciqh shlifowaniq i chernowoj polirowki, chtoby säkonomit' zatraty i wremq cikla obrabotki kremniq.