Tehnologiq MJeMS: Podhod k izgotowleniü tonkih älektrostaticheskih linz

С момента открытия микроколонки Чангом в 1980 году, возник огромный интерес к миниатюрным микроколонкам из-за их различных применений, таких как прямая электронно-лучевая литография, недорогое устройство, низковольтная СЭМ и портативная СЭМ из-за их высокой пропускной способности. Компактный размер позволяет собирать микроколонки в массивную форму, что значительно улучшает производительность визуализации или пропускную способность литографии. Мы изготовили и исследовали три различные конструкции микроколонок, в каждой из которых использовалась модифицированная исходная линза, различное рабочее расстояние, объектив и без объектива. Качество изображения и ток зонда всех новых изготовленных микроколонок были исследованы. Электростатические линзы были изготовлены методом МЭМС. В качестве источника излучения для этих колонок использовался полевой эмиттер 2D-CNT. Наши результаты показали, что среди всех трех структур микроколонок ультраминиатюризированная микроколонка по