Mobile Mikroroboter Im Rasterelektronenmikroskop

In unterschiedlichsten Anwendungsbereichen des Rasterelektronenmikroskops (REM) werden flexible Systeme zur Handhabung sehr kleiner Objekte benotigt. Diese Arbeit beschreibt die Entwicklung eines Robotersystems, das auf piezogetriebenen mobilen Mikrorobotern basiert. Fur die Teleoperation der Mikroroboter wird eine komfortable Steuerung konzipiert. Die Erprobung im REM zeigt, dass mit diesem ferngesteuerten System Aufgaben im Bereich weniger Millimeter bis hinab in den Submikrometerbereich gleichermassen intuitiv und prazise durchgefuhrt werden konnen. Fur die Automation solcher Mikromanipulationsaufgaben ist eine Positionssensorik notwendig, die alle Freiheitsgrade der Roboter erfasst. Das Bewegungsprinzip der mobilen Mikroroboter erlaubt jedoch keine interne Sensorik wie bei konventionellen Industrierobotern. Dieser Arbeit liegt daher das Konzept zugrunde, das REM selbst als externes Sensorsystem zu verwenden. Es wird gezeigt, wie die hohe Auflosung des REMs fur die Positionierung von Mikrorobotern genutzt werden kann.