Mikrosystemtechnik

Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erlautert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien fur Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknupfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die moglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflachenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezuglich ihrer Kompatibilitat zur Mikroelektronik bewertet.