Lithografie-Techniken

In der heutigen Zeit sind elektronische Ger?te wie Mobiltelefone, Computer, Laptops, Sensoren und viele andere Ger?te f?r den Menschen zu einer Notwendigkeit geworden, um sich zu versorgen, einen angenehmen Lebensstil zu f?hren und Aufgaben schnell und einfach zu erledigen. Verschiedene Arten von Temperatursensoren, Biosensoren, Fotosensoren usw. wurden entwickelt, um die Bed?rfnisse der Menschen zu erf?llen. In all diesen Ger?ten befinden sich Chips, die mit Dioden, Transistoren, Logikgattern und ICs hergestellt werden. Die Strukturierung des Substrats, das f?r die weitere Entwicklung dieser Ger?te verwendet wird, erfolgt mit Hilfe einer Technik, die als Lithographie bekannt ist. In der vorliegenden Arbeit haben wir einen ?berblick ?ber verschiedene Arten von Lithografietechniken wie optische Lithografie, Extrem-Ultraviolett-Lithografie, Elektronenstrahl-Lithografie, R?ntgenstrahl-Lithografie und Ionenstrahl-Lithografie gegeben. Die Entwicklung dieser Techniken im Laufe der Zeit und ihre Anwendungen bei der Herstellung von Bauelementen werden er?rtert. Es wird auch auf verschiedene Belichtungswerkzeuge eingegangen, die in den letzten zehn Jahren entwickelt wurden, um die Aufl?sung der Bauelemente zu verbessern. Es werden chemisch verst?rkte und nicht chemisch verst?rkte Resists mit ihren Bindungen und Dicken diskutiert.