Lehrbuch Mikrosystemtechnik

Nach der Vermittlung der mechanischen und fluidischen Grundelemente werden zun chst die sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandler beschrieben. Es folgen Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik sowie zu Herstellungsverfahren f r Mikrokomponenten, bevor die Konfektionierung der Mikrokomponenten erl utert und ein Einblick in die Mess- und Pr ftechnik von Mikrosystemen gegeben wird. Abschlie end werden Entwurf und Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien und der effektive Materialeinsatz diskutiert. Zu allen Kapiteln und gr eren Abschnitten gibt es Zusammenfassungen, eine bersicht ber wichtige Schl sselbegriffe sowie Hinweise auf weiterf hrende Literatur. Dadurch ist ein effizienter Einsatz des Buchs als Lehr- und Nachschlagewerk garantiert.