Hallgeneratoren

Unter den von H. WELKER und Mitarbeitem erforschten III-V- Halbleitem zeichnen sich die Verbindungshalbleiter Indiumantimonid und Indiumarsenid durch ihre hohe Elektronenbeweglichkeit aus. Die sich in diesen Halbleitem mit hoher Geschwindigkeit bewegenden Elek- tronen werden von einem transversalen Magnetfeld besonders stark beeinfluBt. Indiumantimonid und Indiumarsenid sind daher geeignete Werkstoffe fiir die Herstellung magnetisch steuerbarer Halbleiter- bauelemente, deren wichtigster Vertreter der Hallgenerator ist. Die Entwicklungsgeschichte des Hallgenerators reicht zuriick in den Anfang der fiinfziger Jahre. W. HARTEL hatte als erster die Idee, ein Hallgeneratorbauelement zu schaffen; unter seiner Anleitung wurden die ersten Schritte in dieser Richtung getan. 1m Jahre 1954 standen erstmals fiir die Magnetfeldmessung geeignete Hallgeneratoren aus Indiumarsenid zur Verfiigung. Auch in den darauffolgenden Jahren wurden vor allem Hallgeneratoren aus Indiumarsenid fiir meBtechnische Aufgaben entwickelt. Die AnwendungserschlieBung und die Entwick- lung der Bauelemente gingen dabei Hand in Hand. Der letzte Schritt auf diesem Wege war die Entwicklung des fluBempfindlichen Ferrit- Hallgenerators mit einer Indiumantimonidschicht von nur wenigen fLm Dicke. Die fluBempfindlichen Ferrit-Hallgeneratoren er6ffneten der Hallgeneratortechnik ein neues, weites Anwendungsfeld, die beriihrungs- und kontaktlose Steuerung von Bewegungsvorgangen. Um die Voraus- setzung fiir eine breite Anwendung dieses Bauelements zu schaffen, standen in den letzten Jahren im Vordergrund des Interesses neue Fertigungsverfahren, die fiir die Massenherstellung fluBempfindlicher Ferrit-Hallgeneratoren geeignet sind. Diese kleine Hallgeneratorchronik sollte nicht abgeschlossen werden, ohne ein Wort des Dankes an unsere Mitarbeiter und Freunde zu rich- ten, die durch ihre Ideen und unermiidliche Arbeit zu dem erreichten Erfolg beitrugen. Es sind dies vor allem die Herren Dipl. -Ing.