Frezowanie z duza predkoscia pojedynczej krysztalowej plytki krzemowej

Obróbka monokrystalicznego krzemu jest trudn¿ i kosztown¿ spraw¿ ze wzgl¿du na du¿¿ twardo¿¿ i naturaln¿ krucho¿¿ materiäu. G¿ównym problemem w konwencjonalnej obróbce kruchych materiäów, takich jak krzem, jest powstawanie p¿kni¿¿ i uszkodze¿ podpowierzchniowych. Ta ksi¿¿ka przedstawia proces obróbki w trybie ci¿gliwym opracowany dla krzemu, wykorzystuj¿cy frezowanie z du¿¿ pr¿dko¿ci¿ przy u¿yciu narz¿dzi pokrytych diamentem. Stwierdzono, ¿e opracowana metoda zapewnia integralno¿¿ obrabianej powierzchni i dobre wyko¿czenie powierzchni. W ksi¿¿ce omówiono wp¿yw parametrów skrawania, takich jak pr¿dko¿¿ skrawania, posuw i g¿¿boko¿¿ skrawania, na obróbk¿ w trybie ci¿gliwym. Do opracowania modelu regresji ¿redniej chropowato¿ci powierzchni zastosowano trójpoziomowy, pe¿ny czynnikowy projekt eksperymentów z wykorzystaniem metodologii powierzchni odpowiedzi (RSM). Opracowany model zostä przetestowany przy u¿yciu analizy wariancji (ANOVA) przy 95% poziomie ufno¿ci. Najlepsza uzyskana ¿rednia chropowato¿¿ powierzchni wynosi¿a 0,2 ¿m, co mo¿e zmniejszy¿ potrzeb¿ dalszych operacji szlifowania i zgrubnego polerowania, aby zaoszcz¿dzi¿ koszty i skróci¿ czas cyklu obróbki krzemu.