Fraisage en bout à grande vitesse d'une plaquette de silicium monocristallin

L'usinage du silicium monocristallin est une affaire difficile et coûteuse en raison de la dureté élevée et de la fragilité inhérente du matériau. Le problème majeur dans l'usinage conventionnel de matériaux fragiles comme le silicium est la génération de fissures et de dommages sous la surface. Ce livre décrit un processus d'usinage en mode ductile développé pour le silicium utilisant un fraisage en bout à grande vitesse à l'aide d'outils diamantés. La méthode développée s'est avérée assurer l'intégrité de la surface usinée et une bonne finition de surface. L'influence des paramètres de coupe, tels que la vitesse de coupe, l'avance et la profondeur de coupe, sur l'usinage en mode ductile est discutée dans le livre. Un plan factoriel complet à 3 niveaux d'expériences utilisant la méthodologie de surface de réponse (RSM) a été utilisé pour développer un modèle de régression de la rugosité de surface moyenne. Le modèle développé a été testé à l'aide de l'analyse de variance (ANOVA) à un niveau de confiance de 95%. La meilleure rugosité de surface moyenne obtenue était de 0,2 ¿m, ce qui pourrait réduire le besoin d'opérations supplémentaires de meulage et de polissage grossier pour réduire les coûts et le temps de cycle d'usinage du silicium.