Exploration du nitrure de tantale: Une étude tribologique sur des couches minces

Les couches minces jouent un rôle important dans le développement et l'étude de matériaux aux propriétés nouvelles et uniques. Les films minces sont très utiles dans le monde moderne car ils permettent de modifier les propriétés de la surface d'un matériau en vrac en fonction de nos besoins. Les films minces peuvent être déposés sur des matériaux en vrac par deux types de procédés : le dépôt physique en phase vapeur et le dépôt chimique en phase vapeur. L'objectif principal de ce travail est de synthétiser un revêtement à base de nitrure de tantale sur des substrats en verre, en silicium, en laiton et en acier doux en utilisant le processus de pulvérisation cathodique magnétron RF. Nous avons étudié l'effet du temps de dépôt et de la variation du débit d'azote sur les propriétés structurelles et tribologiques du revêtement à base de nitrure de tantale. Le temps de dépôt du revêtement a varié de 20 à 80 minutes. Le débit d'azote a varié de 5 à 30 sccm. Le diffractomètre à rayons X (XRD) et la microscopie à force atomique (AFM) ont été utilisés pour déterminer la structure et la topographie de surface du revêtement. Un tribomètre à broche sur disque a été utilisé pour déterminer les propriétés tribologiques du revêtement.